Mục tiêu Molypden là mục tiêu kim loại đặc biệt được làm từ molypden, chủ yếu được sử dụng trong lĩnh vực công nghệ cao. Molypden, một kim loại màu trắng bạc, được biết đến với điểm nóng chảy cao và tính dẫn điện và nhiệt tốt, cho phép nó duy trì ổn định trong môi trường nhiệt độ hoặc áp suất cao. Do đó, mục tiêu molypden đóng vai trò quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, công nghệ lắng đọng màng mỏng, công nghiệp quang điện và thiết bị hình ảnh y tế. Các mục tiêu molypden có thể được tạo ra bằng cách ép đẳng tĩnh nóng (HIP), nấu chảy, lắng đọng hơi hóa học (CVD) và lắng đọng hơi vật lý (PVD). Mỗi phương pháp đều có đặc điểm và phạm vi áp dụng riêng. Chọn công nghệ chuẩn bị thích hợp. Phụ thuộc vào mục đích sử dụng cuối cùng của mục tiêu molypden cần thiết, hiệu suất cần thiết và các cân nhắc về kinh tế.
Lớp nền bằng đồng liên kết không chỉ cải thiện hiệu suất mục tiêu mà còn giúp giảm chi phí vận hành, điều này đặc biệt quan trọng đối với các ngành dựa vào quy trình lắng đọng màng mỏng ổn định và lâu dài. Nó có những lợi ích sau:
1. Nâng cao hiệu suất dẫn nhiệt: Đồng có độ dẫn nhiệt cực cao (khoảng 400 W/m·K), cao hơn nhiều so với molypden. Việc liên kết mục tiêu molypden với tấm nền bằng đồng có thể cải thiện đáng kể hiệu suất dẫn nhiệt tổng thể của mục tiêu. Trong quá trình phủ tốc độ cao, điều này giúp dẫn nhiệt ra khỏi mục tiêu molypden nhanh hơn, do đó ngăn mục tiêu quá nóng.
2. Giảm ứng suất nhiệt: Trong quá trình lắng đọng, ứng suất nhiệt lên vật liệu mục tiêu có thể gây ra các vết nứt và gãy. Độ dẫn nhiệt cao của tấm nền đồng giúp phân tán nhiệt đều và giảm nồng độ ứng suất nhiệt lên mục tiêu molypden, từ đó giảm thiệt hại do nhiệt gây ra.
3. Kéo dài tuổi thọ sử dụng: Bằng cách giảm ứng suất nhiệt và cải thiện hiệu suất nhiệt, tấm ốp lưng bằng đồng có thể kéo dài đáng kể tuổi thọ sử dụng của mục tiêu molypden. Sự kết hợp này giúp ngăn chặn sự mài mòn hoặc hư hỏng mục tiêu sớm trong quá trình sử dụng, dẫn đến việc thay thế ít thường xuyên hơn và giảm chi phí dài hạn.
4. Cải thiện độ ổn định cơ học: Việc bổ sung tấm lót bằng đồng cũng giúp tăng cường độ ổn định cơ học tổng thể của mục tiêu. Điều này đặc biệt quan trọng trong quá trình lắng đọng tốc độ cao, vì nó giúp duy trì tính toàn vẹn cấu trúc của mục tiêu và giảm thiệt hại do sốc hoặc rung cơ học.
5. Khả năng thích ứng mạnh mẽ: Phương pháp liên kết này có thể điều chỉnh độ dày và hình dạng của bảng nối đa năng bằng đồng theo các yêu cầu ứng dụng khác nhau, mang lại tính linh hoạt và khả năng thích ứng cao hơn. Điều này cho phép các mục tiêu molypden đáp ứng tốt hơn các yêu cầu của thiết bị và quy trình lắng đọng cụ thể.
